HJT異質結高效電池制造整體解決方案
該異質結高效電池制造整體解決方案由邁為自主研制、實現整線設備國產化，其完整覆蓋了異質結電池生產的四道工藝，通過大片化、薄片化、半片化制程，結合創新雙面微晶工藝路線，集成整線 MES 智能系統，進一步提升了太陽能電池的轉換效率、 良率、產能，同時降低了生產成本。
工序流程
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01清洗制絨
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02硅基薄膜沉積(PECVD)
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03透明導電薄膜沉積（PVD）
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04絲網印刷
方案優勢
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清洗制絨設備兼備兩種預清洗工藝：Precln#1(O?) → SDE → Precln#2(H?O?)
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PECVD設備采用大產能、多腔體、準動態PECVD真空鍍膜技術
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PVD設備連續完成正背面TCO鍍膜，產能高、 8個工藝單元(PU)提升了TCO鍍膜工藝靈活度，無需行車，鍍膜利用率高達80%
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絲網印刷設備平鋪式固化，集成光注入
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自動化硅片接觸最少，環境控制，集成在線檢測
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強大的MES中控系統可進行數據采集、產線監測、產線管控、統計分析，實現量產片級跟蹤，追溯每片電池的生產過程
工序一：清洗制絨
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清洗制絨設備 HJ-TEX-182/210
用酸堿藥液將硅片表面刻蝕成金字塔紋理結構，再進行清洗、烘干。
設備參數
設備優勢
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兼容大尺寸硅片、薄片、半片，產能大且充分客制化
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工藝可控度高（定排定補）
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機臺內環境控制嚴格
（酸堿隔離、FFU、除靜電等) -
數據采集完整
（lot log、ID追蹤、記錄曲線等）
工藝流程
補充說明
可提供配套返工清洗機、鏈式前清洗機
工序二：硅基薄膜沉積（PECVD）
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PECVD鍍膜設備 Maxwell MV-LH06
一套在線準動態PECVD鍍膜設備，在硅片正背面沉積本征和摻雜非晶硅膜/微晶硅膜
設備參數
設備優勢
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Inline多腔體準動態PECVD鍍膜技術
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分層高品質非晶硅鈍化鍍膜技術
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PECVD多層布氣Showerhead放電陰極結構設計
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大尺寸、輕載荷、低熱膨脹系數、高平面度的復合載板設計
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Inline耐腐蝕磁流體真空傳送大尺寸載板
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RF快速啟輝設置及輝光實時監控
工藝流程
工序三：透明導電薄膜沉積（PVD）
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PVD鍍膜設備 Maxwell P6
一套臥式在線磁控濺射連續鍍膜設備，可同時進行雙面鍍膜。
設備參數
設備優勢
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大產能(G12，14400半片/小時，單臺設備年產能約600MW）
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HJT高效電池PVD鍍膜專用大尺寸、輕載荷、低熱膨脹系數、高平面度的復合結構設計載板
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HJT高效電池大產能低碎片率的PVD腔體結構設計
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強磁低溫高濺射率的PVD陰極結構設計
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快速均勻的加熱單元設計
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低薄膜不均勻性的PVD陰極腔體設計
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在線PVD高速快節拍的高品質TCO薄膜鍍膜技術
工藝流程
工序四：絲網印刷
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異質結高效電池絲網印刷設備 MW-XDL-DP（HJT）
該套設備使用絲網印刷的方式在電池正背面印刷銀漿，形成金屬電極，并進行測試、固化光衰。
設備參數
設備優勢
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兼容MES、UPS和RFID功能
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高精度、大產量半片機臺
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整線配置無人自動化
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整線邁為自制，包括檢測設備
工藝流程
